
| Paso de rejilla | 20 µm |
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| Expansión térmica | 10,6 x 10⁻⁶ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Resolución | 0,5-1-5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Repetibilidad | Incremento de ±1 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Velocidad máxima m/min | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Tipo de salida | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Aceleración máxima | 20 m/s² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Protección | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Fuente de alimentación | 60 mA máximo | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Desplazamiento de fase | 90±5° eléctrico | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Temperatura de funcionamiento | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Temperatura de almacenamiento | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Humedad | 100% sin condensar |